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真空系统常用名称

①主泵：在真空系统中，用于获得所需要真空度来满足特定工艺要求的真空泵，如真空镀膜机中的油扩散泵就是主泵。

②前级泵：用于维持某一真空泵前级压强低于其临界前级压强的真空泵。如罗茨泵前配置的旋片或滑阀泵就是前级泵。

③粗抽泵：从大气压下开始抽气，并将系统压力抽到另一真空泵开始工作的真空泵。如真空镀膜机中的滑阀泵，就是粗油泵。

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干式螺杆真空泵--优点多多

在COBRA螺杆真空泵中，双螺杆转子在缸内的旋转方向相反，互相之间或与气缸内壁并不接触。同样，密封通过一种非接触方式，因而无磨损的情况发生。如果蒸汽在压缩过程中凝结在COBRA螺杆真空泵里，依然会被气流推送至压缩腔的排气侧排除。因此每小时几升的液体体积，可以没有任何问题地通过泵体。用这样一种方式设计排水口，即使当真空泵处于停顿状态，也可以很容易地排出凝结液体。

不像旋片式真空泵，螺杆真空泵是水冷式的。精心设计的冷却原理确保一个均匀稳定的温度穿过整个泵体。冷却液的量能够被恒温值的平均值所调节，从而允许这个过程中真空泵有一个理想的温度控制，并且避免不必要的水资源浪费。另外，一个具有密封冷却系统的真空泵（换热器）也可以安装在就地没有冷却液可用的装置上。